测试测量综合服务商-深圳市万博仪器仪表有限公司
系统组成:
新锐中科动态参数分析仪，主要包括PC、示波器、低压源、高压直流源、探
头以及相关测试配件等构成。SP26D半导体测试系统采用12bit示波器，可正确反
应波形细节和参数的准确计算，且具备高带宽的电压和电流探测特点，能满足
SiC/GaN的测量要求，同时可以满足上/下管测试要求，可避免频繁连接探头。该
系统测量参数齐全，且支持多种器件类型。
硬件优势:
- 采用泰克全球最先进12 bit示波器，测试结果更准确
- 高带宽的电压探测，能满足SIC/GAN的测量要求
- 可以满足上/下管同时测试，避免频繁连接探头
- 电压覆盖范围宽、并可以再次扩展
- 器件驱动设计支持SIC/GAN器件
- 可根据客户需求定制
- 可以增加器件的温度特性测试
- 硬件可以升级自动机械手
系统主要参数
| 名称 | 说明 |
| 采集带宽 | 500 MHz/1 GHz |
| 采样率 | 6.25Gsa/S |
| ⺟线电压 | 5-2000V，可扩展到6000V |
| 电压测量 | 标配最⼤2000V， 精度2%量程， 可扩展到7000V |
| 电流测量 | 标配300A， 精度±2%。可扩展到6000A |
| 短路电流 | 2000A-10000A |
| 驱动电压 | ±24V |
| 测量参数 | Vce/Vds、Ic/Id、Vgs/Vge、toff、td(off)、tf(Ic)、
Eoff、Ton、td(on)、tr(Ic)、Eon、dI/dt、dv/dt、Err 、Qrr、trr、I rr等 |
| 测量项⽬ | 开关参数、反向恢复参数、短路参数 |
| 测量器件 | 单管/模块 |
| 脉宽 | 20ns-1000us. |
| 脉冲数 | 单脉冲、2-5脉冲 |
| 测量标准 | IEC60747-8、IEC60747-9 |
| 封装 | TO-247,TO-220,EasyPack1B等 |
测试项目
| 参数分类 | 参数符号 | 参数说明 |
|
一般参数 |
Vge/Vgs | 驱动电压 |
| Vce/Vds | 漏-源电压 | |
| Vce/Vds pk | 开关电压最大值 | |
| Ic/Id pk | 导通电流最大值 | |
|
开关参数 |
td(on) | 启动延迟 |
| Tr | 上升时间 | |
| Ton | 启动时间 | |
| Eon | 开能量 | |
| td(off) | 关闭延迟 | |
| Tf | 下降时间 | |
| Toff | 关闭时间 | |
| Eoff | 关能量 | |
| dv/dt | 电压变化率 | |
| di/dt | 电流变化率 | |
|
反向恢复参数 |
Trr | 反向恢复时间 |
| Irr | 反向恢复电流 | |
| Qrr | 反向恢复电荷 | |
| Err | 反向恢复能量 | |
| Id vs t | 反向恢复电流特性 | |
| Vsd | 寄生二极管正向导通电压 | |
|
短路参数 |
di/dt | 电流变化率 |
| Tsc | 短路时间 | |
| Iscm | 短路饱和电流 | |
| Esc | 短路能量 | |
| Psc | 短路功率 |
软件特点
- 测量参数齐全：开关参数、反向恢复参数、短路参数、雪崩测试
- 支持器件类型多：单管/模块，MOSFET、IGBT
- 离线数据分析：既可以在线测量，也可以记录数据离线分析
- 测试方式：单脉冲、多脉冲
- 可灵活设置测试项目
- 软件具有较强的扩展能力
- 测量项目及器件支持扩展
SP26D系列的主要应用
① 功率半导体的来料检验
② 功率半导体的动态参数验证
③ 实验室的器件评估
④ 功率半导体的⽣产检验和筛选
⑤ 实验室的驱动设计改善
⑥ 实验室的PCB设计评估
SP26D系列订购信息
| 型号 | 测试芯片种类 | 采集带宽 | 最大电压电流 |
| SP26D054 | 单管 | 500MHz | 2000V、300A |
| SP26D054M | 模块 | 500MHz | 2000V、300A |
| SP26D104 | 单管 | 1GHz | 2000V、300A |
SP26D半导体动态参数分析系统配置
- 配置包含：2000V母线电压源，500M带宽示波器，TO247-3/TO220 封装夹具；
- 探测系统包含：200MHz、2000V高压差分探头*2，300A50MHz 柔性 电流探头；光隔离500MHz差分探头
- SP26DD系统软件及使用手册。
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